Microscopio Elettronico a Scansione FESEM ZEISS SUPRA 40
sorgente: emissione di campo (FEG) tipo Schottky
tensione di accelerazione: 0.1-30 kV
rivelatore di elettroni secondari tipo Everhart-Thornley
rivelatore di elettroni secondari in-lens
rivelatore di elettroni retrodiffusi allo stato solido a 4 settori
sistema per Microanalisi a raggi X Bruker Quantax 200-Z10 con rivelatore SDD senza azoto liquido
telecamera CCD con illuminazione IR per visualizzare l’interno della camera.
ingrandimenti: 12x – 900.000x
risoluzione:
1.0nm @ 20 kV WD = 2mm
1.3nm @ 15 kV WD = 2mm
1.5nm @ 10 kV WD = 2mm
2.1nm @ 1 kV WD = 2mm
5.0nm @ 0.2 kV WD = 2mm
La strumentazione permette l’osservazione ad alta risoluzione della topografia tridimensionale del campione con la possibilità di ottenere anche informazioni e immagini composizionali.
Possono essere osservati tutti i tipi di campioni.
Si possono eseguire osservazioni ad alta risoluzione anche a bassa tensione.